通过形成具有不同改质的本身应力的蚀刻阻碍层以于不同沟道区域中产生不同机械应力的方法

摘要

通过提供接点蚀刻终止层，可有效地控制不同晶体管类型的沟道区中的应力，其中可以诸如湿式化学蚀刻、电浆蚀刻、离子植入、及电浆处理等的已为大家接受的工艺得到该接点蚀刻终止层的抗拉应力及压缩应力部分。因此，可得到晶体管效能的显着改善，同时不会大幅增加工艺的复杂性。