差分馈电介质阻挡放电低温等离子体装置

摘要

本发明属于气体放电与等离子体技术领域，是差分馈电介质阻挡放电低温等离子体装置，包括差分输出高压电源、两个高压电极，差分输出高压电源输出端分别与两个高压电极相连接，在两个高压电极的相向面，其中至少一个高压电极上面覆盖有一层介质，或在两个高压电极中间的任何位置设置介质，电极间的气体为负载，与两高压电极相连的差分输出高压电源两输出端对地电压大小相等或近似相等、相位相差180度或近似相差180度。本发明可以产生大放电间隙的DBD，用以制造大体积的气体放电低温等离子体，可降低气体放电所需电源输出电压，降低装置的绝缘设计和制造难度，提高安全性和电磁兼容性，还可获得零电位区的气体放电低温等离子体。