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组件处理系统、信息显示方法、程序、及记录媒体

摘要

设于组件制造工厂之支持装置,用于从组件处理装置收集数据,并根据所收集的数据解析组件处理装置的运作状况等。所述支持装置具备:用以设定组件处理装置所使用的收集条件的数据收集条件设定部(231)、用以设定对所收集数据进行统计处理的处理条件的统计处理条件设定部(232)、以及用以设定显示所收集数据或统计处理的处理结果时的显示条件的图表显示条件设定部(233)。

著录项

  • 公开/公告号CN101010779A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2007-08-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 尼康股份有限公司;

    申请/专利号CN200580029366.0

  • 发明设计人 安川浩司;铃木博之;

    申请日2005-11-30

  • 分类号H01L21/027(20060101);G03F7/20(20060101);H01L21/02(20060101);H01L21/66(20060101);

  • 代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;

  • 代理人任默闻

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2023-12-17 18:54:43

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2009-10-28

    授权

    授权

  • 2007-09-26

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-08-01

    公开

    公开

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