一种具有自动监控调节功能的TFT－LCD激光维修系统

摘要

本发明公开了一种具有自动监控与调节功能的TFT－LCD激光维修系统，包括：激光器：衰减器、光束孔径控制器件和光束输出单元，在光束输出单元的前端设置有具有反馈功能的控制单元。其中控制单元包括激光能量测量及记录存储功能模块；控制算法的功能实现模块；运算结果输出功能模块；受控对象的信息接受功能模块。本发明通过增加反馈回路及其相关部件，能够对激光系统各个部件的稳定性和精确性进行自发调节。