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静电致动器、液滴喷出头、液滴喷出装置和静电驱动器件

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摘要

提供一种响应性好、并且低驱动电压的静电致动器、液滴喷出头、液滴喷出装置、静电驱动器件以及它们的制造方法。具有板状的可动电极即振动板(22)；与振动板(22)相对，关于长边方向，对于振动板(22)，具有台阶或倾斜地形成的矩形状的成为固定电极的个别电极(12)；振动板(22)通过与个别电极(12A)之间产生的静电引力，按照与个别电极(12A)接触的顺序，板厚度变薄。

著录项

公开/公告号CN101007461A

专利类型发明专利
公开/公告日2007-08-01

原文格式PDF
申请/专利权人精工爱普生株式会社;
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申请/专利号CN200710007222.6
发明设计人小松洋;松野靖史;佐野朗;
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申请日2007-01-25
分类号B41J2/045(20060101);B41J2/14(20060101);B41J2/16(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人汪惠民
地址日本东京
入库时间 2023-12-17 18:54:43

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2009-09-23

发明专利申请公布后的视为撤回

发明专利申请公布后的视为撤回
2007-09-26

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-08-01

公开

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