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非轴对称带电粒子束系统

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摘要

带电粒子束系统包括形成具有椭圆横截面的非轴对称束的非轴对称二极管。聚焦元件将磁场用于聚焦和传输该非轴对称束，其中该非轴对称束与聚焦元件的通道大致匹配。

著录项

  • 公开/公告号CN1998059A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2007-07-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 马萨诸塞州技术研究院;

    申请/专利号CN200580022931.0

  • 发明设计人 R·J·巴哈特;C·陈;J·周;

    申请日2005-06-06

  • 分类号H01J3/12;H01J3/14;

  • 代理机构上海专利商标事务所有限公司;

  • 代理人刘佳

  • 地址 美国马萨诸塞州

  • 入库时间 2023-12-17 18:50:31

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2011-04-13

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01J3/12 公开日:20070711 申请日:20050606

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2007-09-05

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-07-11

    公开

    公开

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