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波长及角度匹配拼接光栅压缩器的监测与调整方法

摘要

本发明涉及一种波长及角度匹配拼接光栅压缩器监测与调整方法。通过选择监测光的波长及其在拼接光栅上的入射角使拼接误差对主激光与监测光的远场影响一致,能以一种简单易行的方式将拼接光栅调至较好状态,并获得近衍射极限的焦斑。不仅适用于子光栅之间存在线密度差异的情况,同时也适用于子光栅之间无线密度差异时拼接光栅的监测与调整。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-11-18

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02B27/00 授权公告日:20080730 终止日期:20140930 申请日:20060930

    专利权的终止

  • 2008-07-30

    授权

    授权

  • 2007-07-04

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-05-09

    公开

    公开

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