基于散射测量数据确定工艺参数值的方法

摘要

一种依照一个实施方案的方法，包括用光探测装置从设置在校准基板上的多个标记结构组中得到校准测量数据。每个标记结构组包括使用工艺参数的不同已知值生成的至少一个校准标记结构。这种方法包括用光探测装置从设置在基板上、并用工艺参数的未知值加以曝光的至少一个标记结构中得到测量数据；以及通过利用在基于工艺参数的已知值和校准测量数据的模型中的回归系数，从得到的测量数据确定工艺参数的所述未知值。