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公开/公告号CN1940583A
专利类型发明专利
公开/公告日2007-04-04
原文格式PDF
申请/专利权人 奇梦达股份公司;
申请/专利号CN200610135701.1
发明设计人 P·施奈德;D·C·库特勒;
申请日2006-09-06
分类号G01R31/26(20060101);G01R31/00(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人张雪梅;梁永
地址 德国慕尼黑
入库时间 2023-12-17 18:25:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-01-27
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-05-30
实质审查的生效
2007-04-04
公开
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