利用液体环境中的激光溅射沉积工艺进行纳米组装的方法及其应用

摘要

本发明公开了一种利用液体环境中的激光溅射沉积工艺进行纳米组装的方法及其应用。该方法是将衬底和靶材置于液体中，衬底位于靶材的正上方，使激光光束透过衬底垂直聚焦到靶材上表面，在靶材的上表面上方产生等离子体羽，在激光脉冲结束后，在衬底的下表面生成由纳米颗粒组成的圆形纳米图案。利用该方法能够在衬底上制备出各种材料的微观纳米图案，该图案由纳米颗粒组成，大小在微米量级。本发明可应用于微电子、光学传感器、生物、医学等领域，本发明操作简单，制备快速、可控性好、尤其对各种材料均适用。