法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-03-24
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-04-11
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-02-14
公开
公开
机译: 传感器即陀螺仪具有包括衬底的微机械结构,与衬底牢固连接的结构以及可移动地布置在衬底上的另一结构,其中形成后者的结构以封闭前者的结构
机译: 在衬底上形成器件,在衬底上形成器件阵列,在衬底上形成导线,在衬底上形成电容器阵列的半导体处理方法以及集成电路
机译: 在衬底上形成器件,在衬底上形成器件阵列,在衬底上形成导线,在衬底上形成电容器阵列的半导体处理方法以及集成电路