公开/公告号CN1902738A
专利类型发明专利
公开/公告日2007-01-24
原文格式PDF
申请/专利权人 阿维扎技术公司;综合处理系统有限公司;
申请/专利号CN03825797.1
申请日2003-08-18
分类号H01L21/31;H01L21/469;
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人张平元
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-17 18:08:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-08-11
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L21/31 公开日:20070124 申请日:20030818
发明专利申请公布后的驳回
2007-03-21
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-01-24
公开
公开
机译: 通过控制金属表面反应形成的高介电常数金属硅酸盐
机译: 通过控制金属表面反应形成的高介电常数金属硅酸盐
机译: 通过控制金属表面反应形成的高介电常数金属硅酸盐