基于MEMS的低损耗RF移相器

摘要

一种RF MEMS开关模块和无源延迟移相器电路的混合电路移相器组件采用了低损耗、较佳地还采用了倒装片互连技术。该混合电路组件的设计方法将MEMS开关模块的制造和无源相位延迟电路的制造相分离，从而避免了工艺的不兼容性和低的产量并显著节省了生产成本。在本发明的另一方面，在多个辐射元件的每一个之后的基于MEMS得混合电路移相器组件在一共同基底上的集成提供了一种紧凑型低成本的电子扫描天线阵列。