非破坏性检查装置及非破坏性检查方法

摘要

一种非破坏性检查方法，能不受试料的电流路径限定而检出缺陷。在由加热源从试料的背面侧加热了该试料之后，放置给定时间，由观测部从所述试料的表面侧观测在所述试料上形成的温度分布，从而检出所述试料的缺陷的有无。