抗蚀材料及使用了该抗蚀材料的图案形成方法

摘要

本发明公开了一种抗蚀材料及使用了该抗蚀材料的图案形成方法。目的在于：能够提高抗蚀图案与被处理膜的附着性，防止图案的形状不良。在衬底101上形成由含有为杂环酮的4－戊烷内酰胺的抗蚀材料构成的抗蚀膜102，接着，通过掩膜104对抗蚀膜102照射曝光光103来进行图案曝光。接着，通过将已被图案曝光的抗蚀膜102显像来形成抗蚀图案102a。