多层薄膜、包括该多层薄膜的薄膜晶体管阵列面板，以及制造该面板的方法

摘要

提供一种薄膜晶体管阵列面板，其包括：半导体层；在半导体层上的第一绝缘层；包括第一非晶硅层和金属的栅极线；覆盖栅极线的第二绝缘层；和形成在第二绝缘层上的第二数据线。通过提供具有良好粘接性的非晶硅层，可以形成信号线的各种锥形结构。金属层和非晶硅层之间的粘接性可以通过进行热处理工艺来提高，从而可以减小其间的接触电阻。相应地，可以提高TFT的特性和可靠性。