改进的以托盘给样的扫描声学显微镜系统以及主要用于在检查期间使部件固定的方法

摘要

一种用于以托盘给样的扫描声学显微镜的改进的扫描台和方法，具有真空系统，所述真空系统在由超声波束发生器进行声穿透的过程中，至少辅助将松散保持部件固定在托盘中。