对月球表面环境就位测量的原子力显微镜检测方法及装置

摘要

本发明公开了一种对月球表面环境进行就位测量的原子力显微镜检测方法及其装置，包括探头、信号检测与处理电路、微处理器，还包括对探头进行控制的控制电路和反馈控制电路，所述控制电路向探头的三维扫描器输出X－Y方向的电压信号，由三维扫描器驱动微悬臂探针对月球表面物质进行扫描，微悬臂在扫描过程中发生形变，形变量的大小由信号检测与处理电路测得，再输出至反馈控制电路，经反馈控制电路送入微处理器。本发明采用自感知微悬臂，其形变量的测量由精密前置放大及信号检测与处理电路实现；采用阵列式微悬臂并有对已损坏微悬臂探针进行自检测和自动置换的功能；以大范围扫描器驱动微悬臂探针实现对月球表面物质的大范围扫描；采用轻敲/相位模式获取月球表面物质三维形貌图像；装置体积小，可自动操作；能够适应超高真空及高低温变化的工作环境。