超精表面粗糙度的原子力显微镜测量

摘要

介绍了表面粗糙度的形成及原子力显微镜的工作原理,实验结果表明,采用原子力显微镜测量超精加工表面粗糙度可使测量精度达到了纳米级,通过对表面粗糙度测量结果的分析,验证了方法的可靠性.