粉末有机半导体以及气相沉积在基体上的方法

摘要

本发明涉及一种将一种或几种化合物气相沉积到基体上的方法，该方法包括：i)以固态或气态将该化合物供入载体气流中，ii)所述化合物以气态存在于载体气流中，iii)凝结该气态化合物，iv)将步骤(iii)中凝结的化合物返回气态，和v)随后该气态化合物凝结在基体上，通过供入气流将含有该气态化合物的载体气流冷却到所述化合物升华温度以下的温度。