公开/公告号CN1783671A
专利类型发明专利
公开/公告日2006-06-07
原文格式PDF
申请/专利权人 日本电产三协株式会社;
申请/专利号CN200510128762.0
发明设计人 栗田幸信;
申请日2005-12-02
分类号H02K29/00;H02K29/06;G02B26/10;B41J2/44;
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人沈昭坤
地址 日本长野县
入库时间 2023-12-17 17:20:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-08-12
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-08-02
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-06-07
公开
公开
机译: 多边形反射镜旋转驱动装置和激光反射镜照射装置
机译: 激光夹持装置,例如焊接区域,具有行和列的激光,其中来自每个激光器的激光照射在一个倾斜的反射镜上,从而使光照射在其他倾斜的反射镜上,从而使光线在射线束中对齐
机译: 束引导系统,用于聚焦地引导例如X射线的X射线束。二氧化碳高功率激光照射到锡滴上进行EUV光刻,具有反射镜,该反射镜可部分补偿光束引起的反射镜导光特性的变化