产生低温等离子体的电晕耦合介质阻挡放电装置

摘要

一种产生低温等离子体的电晕耦合介质阻挡放电装置，属产生低温等离子体的装置。在组成放电装置的一对金属电极中，其中一个金属电极的任一表面带有分布均匀的小锥尖端，另一个光滑金属电极的任一表面与一个绝缘介质的任一表面紧密贴合，绝缘介质的另一表面与带小锥尖端电极的另一表面相对，此两表面之间留有均匀放电间隙，当两个金属电极与一个高频高压电源连通，并在放电间隙中存在工作气体时，放电间隙中就会形成低温等离子体。本发明的放电电压低、放电强烈、生成的活性粒子多；可避免火花放电或弧光放电；能耗低和电子平均能量高等优点，微放电均匀稳定地分布在整个放电空间内，便于在高气压条件下获得大体积的低温非平衡等离子体。