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公开/公告号CN1770472A
专利类型发明专利
公开/公告日2006-05-10
原文格式PDF
申请/专利权人 三星电子株式会社;
申请/专利号CN200410075872.0
发明设计人 朴敬培;野口隆;赵世泳;金道暎;权章渊;
申请日2004-11-04
分类号H01L29/786;H01L21/336;H01L21/20;
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人封新琴
地址 韩国京畿道
入库时间 2023-12-17 17:12:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-01-13
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-08-16
实质审查的生效
2006-05-10
公开
机译: 多晶硅薄膜的形成方法,多晶硅薄膜形成装置及薄膜晶体管的制造方法
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