法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-01-27
专利权的视为放弃
专利权的视为放弃
2006-06-14
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-04-26
公开
公开
机译: 流体致动装置和制造流体致动装置的方法,以及静电致动的流体排出装置和生产静电致动的流体排出装置的方法
机译: 流体致动装置和用于制造流体致动装置的方法,以及静电致动的流体排出装置和用于制造静电致动的流体排出装置的方法
机译: 用于控制流体的微致动装置和使用该微致动装置的微流体控制装置