公开/公告号CN1763915A
专利类型发明专利
公开/公告日2006-04-26
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN200510112808.X
申请日2005-10-12
分类号H01L21/00;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/3205;C23C16/44;C23C14/22;
代理机构北京纪凯知识产权代理有限公司;
代理人龙淳
地址 日本国东京都
入库时间 2023-12-17 17:12:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-05-07
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L21/00 申请公布日:20060426 申请日:20051012
发明专利申请公布后的驳回
2007-08-08
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-04-26
公开
公开
机译: 清洁薄膜形成装置的方法,薄膜形成方法,薄膜形成装置和程序
机译: 薄膜形成装置的清洁方法,薄膜形成方法,薄膜形成装置以及程序
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