远紫外区光源和远紫外区光源用靶

摘要

本发明构成为以提供可以通过高的发光效率来发出远紫外区光的远紫外区光源用靶为目的。这种目的如下这样来实现。使用由重金属或重金属化合物构成的为0.5％～80％的固体的靶。若激光照射该靶，则生成靶含有的重金属的等离子体，从该等离子体中放射对应于该重金属的种类的规定波长的远紫外区光。通过使靶的密度比如上所述结晶密度小，控制所生成的等离子体密度的空间分布，而可以使等离子体吸收激光的能量的区域和等离子体发出远紫外区光的区域一致。由此，可以抑制能量的损耗而使发光效率提高。例如，与使用Sn结晶的靶相比，使用了例如密度为结晶密度的24％的SnO