减少电荷注入以控制微机电系统静电激励器的方法和装置

摘要

一种用于MEMS(微机电系统)的控制电路具有半导体开关，该半导体开关具有源极、漏极和栅极，它与可变电容器的空间布置的固定板和活动板中所选的一个相关联，并安排成选择性地将固定板和活动板中所选的一个连接到电压源。将电荷注入控制电路与该半导体开关相关联，并削弱对电容器的固定板和活动板中所选的一个的电流注入。