单片气动凝胶微阀的制造方法

摘要

一种微电子机械系统领域的单片气动凝胶微阀的制造方法，本发明通过快速原型技术得到微复制模板，通过浇铸硅橡胶材料得到包含有泵腔结构和微通道的硅橡胶基底，同时利用等离子体刻蚀工艺得到包含有加热电极和传感电极的玻璃基片，然后用反应离子处理芯片表面来封装硅橡胶基底与玻璃基片，最后利用深紫外光催化凝胶预聚体得到凝胶微阀阀芯。本发明制备的凝胶微阀开启能耗低、连续致动能力强、快速响应输入信号，具有原理新颖、所需设备要求不高、制造成本低、工艺相对较为简单的特点。