利用高酸碱值浸润流体的浸润式微影技术的方法与系统

摘要

一种利用高酸碱值浸润流体的浸润式微影技术的方法与系统，该系统包含透镜(lens)，用来将一道预设的辐射(radiation)传递至预定的产品基材上。并且一液体(fluid volume)的第一端与此透镜接触，并透过液体的第二端与产品基材接触。该方法包括：放置一基材，该基材上方具有一辐射敏感物质，并使该辐射敏感物质与一液体的第一端接触；放置至少一透镜，使该透镜与该液体的第二端接触；以及提供波长约为或小于248nm的一电磁辐射，并使一预设辐射穿过透镜而传递至一预定基材上。其中此液体具有高于10－7莫耳/公升(mole/l的氢氧根离子(hydroxide ion)莫耳浓度。