续写摩尔定律的神话——聊一聊林本坚教授的浸润式微影技术

摘要

2018年9月8日，“未来科学大奖”公布，3个单元中“生命科学奖”“物质科学奖”均由3位科学家共享，而“数学与计算机科学奖”由中国台湾的林本坚教授独揽．或许很多人并不了解林教授其人其事，但是他所开创的浸润式微影技术却几乎惠及我们每一个人．正是因为这一技术的应用，让原本已陷入发展瓶颈的半导体芯片业得以继续维持“摩尔定律”的神话式发展．下面我们就来聊一聊林本坚教授和他的浸润式微影技术．