用放置装置将部件放置在基片保持器上所需位置的方法和适于实施该方法的装置

摘要

一种使用放置装置(1)将部件(2)放置在基片(3)上的所需位置的方法和装置。所述部件被输送至在所需位置上方的中间位置处，并且使用照相机(12)和处理器确定部件中间位置与所需位置之间的位置差异。然后，利用这一位置差异，所述部件被输送至基片上的所需位置处。设置在相对于部件朝向所述基片一侧的照相机可以获得包括所需位置的基片和所述放置装置(1；5，6，7)的至少那部分的图像。