由损耗的氮化物隔离器限定的浮动栅极晶体管中的超小型薄窗口

摘要

一种微小的氧化层窗口，这些上层(55，57)被蚀刻，从而在层(41)上留出该聚二层(57)。这些任选的氮化物隔离器(51，53)保留为用于该聚一层及其下面的氧化层的保护性屏障。可以将该ONO层用作自校准工具，来制作源极和移植物(22，24)。