位置测量方法、曝光方法、曝光装置、及器件制造方法

摘要

本发明提供一种位置测量方法、曝光方法、曝光装置、及器件制造方法。在该位置测量方法中，用照明光束照明形成于物体上的标记，通过观察系对从该标记发生的光束进行摄像，对该摄像信号进行信号处理，获得与标记的位置相关的位置信息。根据包含于摄像信号中的与包含光量依存成分的噪声相关的信息和该摄像信号进行上述信号处理。结果，即使在摄像信号中包含噪声的场合，也可精度良好地测量标记的位置信息。