法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-01
专利权的转移 IPC(主分类):H01J37/147 登记生效日:20180411 变更前: 变更后: 申请日:20050121
专利申请权、专利权的转移
2013-03-06
授权
授权
2012-11-07
发明专利公报更正 卷:26 号:32 IPC(主分类):H01J0037147000 更正项目:专利申请公布后的驳回 误:驳回 正:撤销驳回 申请日:20050121
发明专利更正
2010-08-11
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01J37/147 公开日:20050727 申请日:20050121
发明专利申请公布后的驳回
2005-09-21
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-07-27
公开
公开
查看全部
机译: 带电粒子束装置,带电粒子束控制方法,基板检查方法以及半导体装置的制造方法
机译: 带电粒子束装置,带电粒子束控制方法,基板检查方法以及半导体装置的制造方法
机译: 带电粒子束装置,带电粒子束聚焦方法,微结构测量方法,微结构检查方法,半导体器件制造方法和程序