公开/公告号CN1619299A
专利类型发明专利
公开/公告日2005-05-25
原文格式PDF
申请/专利权人 布鲁克斯自动化机械亚洲株式会社;
申请/专利号CN200410074085.4
申请日2004-09-03
分类号G01N21/896;
代理机构11204 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司;
代理人方挺;葛强
地址 韩国京畿道龙仁市
入库时间 2023-12-17 16:08:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2008-01-09
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2005-07-27
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-05-25
公开
公开
机译: 检测玻璃基板边缘部分破损的装置及其方法
机译: 用于产生感应耦合等离子体的装置及其驱动方法,其能够在半导体晶片或玻璃基板的中央部分和边缘部分上均匀地形成蚀刻速率/沉积速率。
机译: 玻璃基板的边缘缺陷检测装置及监视方法