采用飞秒激光和固体浸润透镜加工近场小孔的装置

摘要

一种采用飞秒激光和固体浸润透镜加工近场小孔的装置，包括一激光器，以该激光器出射光的对称轴为光轴oo，在该光轴oo上依次置有准直镜和分光镜，激光器的激光出射面的空间滤波小孔位于该准直镜的焦面上，该分光镜的分光面与光轴oo成45°角，通过分光镜的分光面中心且与光轴oo垂直是光轴o′o′；在该光轴o′o′上沿分光镜反射光前进的方向上，依次同轴地置有的物镜、固体浸润透镜、垫板和两维调整架，该垫板置于该两维调整架上，该固体浸润透镜是一个固体透明半球，其球面朝物镜；该固体浸润透镜的平面上镀有不透明膜，该不透明膜又与垫板的大平面相接触，在垫板上光轴o′o′穿过的地方开有小孔，该小孔的直径小于固体浸润透镜的直径，在光轴o′o′上分光镜的另一面置有的监视系统，所述物镜设有调焦机构。利用本发明装置制作近场小孔，不仅孔小，而且加工准确方便。