公开/公告号CN1558260A
专利类型发明专利
公开/公告日2004-12-29
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN200410015772.9
申请日2004-01-14
分类号G02B6/34;G02B6/10;G03F7/20;G03F7/00;H04B10/12;
代理机构上海智信专利代理有限公司;
代理人潘振甦
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2023-12-17 15:39:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2008-12-24
发明专利申请公布后的驳回
发明专利申请公布后的驳回
2005-03-02
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-12-29
公开
公开
机译: 具有光波导结构和具有使光反射光波导的垫模布拉格衍射光栅的垫模布拉格衍射光栅及其制造方法
机译: 波导中的布拉格反射光栅的形成方法及其相同方法形成的布拉格反射光栅
机译: 在平面光学波导中制造布拉格光栅的仪器和使用相同仪器制造布拉格光栅的方法