光致成像波导组合物以及由此构成的波导

摘要

提供适用于形成光波导的可光限定组合物。所述组合物包括含有通式(R1SiO1.5)和(R2SiO1.5)的多个单元的倍半硅氧烷聚合物，其中R1和R2不相同，均为取代或未被取代的有机侧链基，并且不含羟基，还包括两个或多个功能端基，以及光敏成分。所述倍半硅氧烷聚合物的溶解度在暴露于光化辐射时可被改变以使得组合物可在显影剂水溶液中显影。还提供用本发明组合物形成光波导的方法，光波导，以及包括一个或多个光波导的电子器件。