采用扫描电子显微镜在非真空环境下检验样品的装置和方法

摘要

一种适用于与扫描电子显微镜一起使用的腔室(34)。该腔室包括用隔膜(36)密封的至少一个孔。隔膜(36)适于承受真空，并是电子可穿透的，而且腔室(34)的内部与所述真空隔离。该腔室可用于使包括活性细胞的湿样品(32)能够在电子显微镜下被观察。