透明导电性薄膜及其制造方法和使用它的电发光元件

摘要

本发明的课题是：使用用氮化铝相似被覆的荧光物质的发光层，抑制EL发光元件在高温高湿下连续发光时发光亮度的劣化。本发明的解决手段是：用以下透明导电性薄膜，作为使用用氮化铝相似被覆的荧光物质的发光层的EL发光元件的透明导电性薄膜，该透明导电性薄膜的特征在于，是在基板(A)的一方的主面上，在溅射气体中添加特定量的氧气和氢气的条件下，通过溅射法形成主要由铟原子、锡原子和氧原子构成的透明导电层(B)的透明导电性薄膜，将透明导电层(B)表面积的60％在28质量％氨水上被覆5小时的电阻变化率在5％以内。