通过照明源优化提供透镜像差补偿的方法和设备

摘要

一种补偿透镜象差的方法，包括步骤：(a)限定一个成本尺度，该成本尺度量化成像系统的成像性能，所述的成本尺度反映了投影透镜的透镜像差对成像性能的影响；(b)限定光源照明轮廓；(c)根据光源照明轮廓估算成本尺度；(d)修正光源照明轮廓，并且根据修正过的光源照明轮廓重新估算成本尺度；和(e)重复步骤(d)直到将成本尺度降到最小。对应于所述最小化成本尺度的光源照明轮廓代表成象装置的最佳照明。