分划板焦点测量系统和使用多重干涉测量光束的方法

摘要

一个第一组干涉测量束用来确定分划板的图案表面的位置和用于向后夹持到分划板平台上的分划板的分划板焦点平面。一个第二组干涉测量束在Y方向的扫描期间用来确定分划板平台位置的映像。使两组干涉测量束相关，以使分划板焦点平面与分划板平台的映像相关。在到晶片上的分划板的图案表面的图案的曝光期间，信息用来控制分划板平台。