高峰值功率激光设备及其在产生远紫外光中的应用

摘要

该设备包括至少一个固体激光器(2、4、6)，用于提供光脉冲，和装置(14)，用于将这些光脉冲引导到目标(16)的基本同一点上，且基本上同时到达该点。所述激光器由连续工作的二极管(40)泵送。