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微滴喷射设备、微滴喷射方法和电子光学设备

摘要

一种微滴喷射头(100),具有用于喷射储存在液体箱(110)中的液体的喷嘴(140)。压电元件(130)对储存在压力室(120)中的液体加压或减压,从而使液体柱从喷嘴(140)中伸出或吸入。激光器(200)和柱面透镜(210)设在喷嘴(140)附近,并将激光束会聚到液体柱上,从而通过压电元件(130)辅助由液体柱形成微滴。

著录项

  • 公开/公告号CN1502414A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2004-06-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 精工爱普生株式会社;

    申请/专利号CN200310114269.4

  • 发明设计人 三浦弘纲;

    申请日2003-11-12

  • 分类号B05B7/02;B05D1/02;B05D3/00;B41J2/01;H05K3/00;H01L21/02;

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人王玮

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2023-12-17 15:18:03

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2010-07-14

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B05B7/02 公开日:20040609 申请日:20031112

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2004-08-18

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2004-06-09

    公开

    公开

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