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公开/公告号CN1495525A
专利类型发明专利
公开/公告日2004-05-12
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社瑞萨科技;
申请/专利号CN03127424.2
发明设计人 石桥健夫;丰岛利之;寺井护;樽谷晋司;
申请日2003-08-06
分类号G03F7/038;G03F7/00;H01L21/027;
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人钟守期
地址 日本东京都
入库时间 2023-12-17 15:13:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2006-05-31
发明专利申请公布后的视为撤回
2004-07-14
实质审查的生效
2004-05-12
公开
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