公开/公告号CN1463468A
专利类型发明专利
公开/公告日2003-12-24
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;大见忠弘;
申请/专利号CN02802155.X
申请日2002-06-19
分类号H01L21/31;C23C16/511;H01L21/3065;H05H1/46;
代理机构北京东方亿思专利代理有限责任公司;
代理人陆锦华
地址 日本东京都
入库时间 2023-12-17 15:01:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-08-22
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/31 授权公告日:20060104 终止日期:20110619 申请日:20020619
专利权的终止
2006-01-04
授权
授权
2004-03-03
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-12-24
公开
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