一种钛表面辉光离子无氢渗碳工艺方法

摘要

一种钛表面辉光离子无氢渗碳工艺方法，涉及一种金属材料表面改性技术，特别是钛及钛合金表面的改性技术。其特征在于利用石墨电极在辉光等离子体中被溅射的原理，使溅射出来的碳离子或碳原子在工件偏压电场以及粒子的动能惯性的作用下，到达被加热的钛工件表面，在热扩散和离子轰击的双重作用下使碳渗入到钛表面，形成碳化钛。这种工艺克服了钛表面有氢渗碳时所产生的钛材性能下降和表面出现裂纹等缺陷。用该工艺处理的钛材表面硬度可达到3000HV，表面的渗层达到1～500μm，沉积层厚度达到1～100μm，钛材的耐磨性得到提高。