法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-04-15
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/60 授权公告日:20070328 终止日期:20140228 申请日:20030228
专利权的终止
2014-06-18
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/60 变更前: 变更后: 登记生效日:20140520 申请日:20030228
专利申请权、专利权的转移
2008-04-16
专利申请权、专利权的转移(专利权的转移) 变更前: 变更后: 登记生效日:20080307 申请日:20030228
专利申请权、专利权的转移(专利权的转移)
2007-03-28
授权
授权
2003-12-03
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-09-17
公开
公开
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