法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2006-05-17
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2003-12-03
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-09-17
公开
公开
机译: 通过电解沉积法或非电解沉积法形成氧化铟膜的方法,具有该氧化铟膜的半导体元件用基板,
机译: 通过电沉积工艺或化学沉积工艺形成氧化铟膜的方法,设置有用于半导体元件的氧化铟膜的基板以及设置有该基板的半导体元件
机译: 通过电沉积工艺或无电沉积工艺形成氧化铟膜的方法,设置有所述用于半导体元件的氧化铟膜的基板以及设置有所述基板的半导体元件