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用以检测浮渣/封闭接触孔和线路的CD－SEM信号分析

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提供了一种在圆片(26)中检测浮渣的系统(20)，该系统(20)包含：分析系统(24)，用于提供对应于圆片(26)表面部分的信号(18)；以及处理系统(44)，其可操作地连接到该分析系统(24)；其中处理系统(44)配置为根据该信号(18)中至少一部分(18a，18c)的形状，检测圆片(26)中的浮渣。

著录项

公开/公告号CN1433570A

专利类型发明专利
公开/公告日2003-07-30

原文格式PDF
申请/专利权人先进微装置公司;
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申请/专利号CN00818737.1
发明设计人 B·K·楚;B·新恩;S·K·耶德;K·A·泛;
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申请日2000-12-13
分类号H01L21/66;
代理机构北京纪凯知识产权代理有限公司;
代理人戈泊
地址美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-17 14:52:52

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2005-07-27

发明专利申请公布后的视为撤回

发明专利申请公布后的视为撤回
2003-10-15

实质审查的生效

实质审查的生效
2003-07-30

公开

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